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PVT法長(zhǎng)晶爐——電阻爐

本設(shè)備主要用于碳化硅(SiC)、氮化鋁(AIN)單晶生長(zhǎng)。

PVT法長(zhǎng)晶爐——感應(yīng)爐

本設(shè)備主要用于碳化硅(SiC)、氮化鋁(AIN)單晶生長(zhǎng)。

液相法長(zhǎng)晶爐

液相法可以在更低的溫度(<2000℃)以下實(shí)現(xiàn)SiC單晶的生長(zhǎng),理論上更容易獲得高質(zhì)量的單晶。利用溫度梯度作為生長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)力來(lái)實(shí)現(xiàn)晶體的生長(zhǎng)。

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