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LPCVD臥式爐


所屬分類:

CVD設備

半導體工藝設備

臥式LPCVD


概要:

LPCVD設備是半導體集成電路制造的重要設備之一,主要用于POLY, D-POLY, SiN,LP-TEOS。


關鍵詞:

LPCVD臥式爐管設備



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