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LPCVD立式爐


所屬分類:

CVD設備

半導體工藝設備

立式LPCVD


概要:

半導體集成電路制造的重要設備之一,主要用于POLY, D-POLY, SiN,LP-TEOS;立式LPCVD采用鐘罩式結構,設計嵌套腔體機械手傳片組件、舟旋轉組件,具有占地面積小、成膜均勻性高、工藝穩定性高等優點。


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LPCVD立式爐管設備



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